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    1.亂流式:

        空氣經(jīng)由無塵室的風(fēng)管和空氣過濾器(HEPA)通過空調(diào)箱進(jìn)入無塵室，回到無塵室或高架地板兩側(cè)兩個隔間的無塵室。氣流不是直線型運(yùn)動，而是不規(guī)則的湍流或渦流狀。適用于1000~100000級無塵房間。

優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡單，系統(tǒng)成本高，易于擴(kuò)大無塵室。在一些特殊的使用場所，可并用無塵工作臺來提高無塵室的水平。

缺點(diǎn):湍流引起的粉塵顆粒不易排出。此外，如果系統(tǒng)停止并重新啟動，則需要很長時(shí)間才能達(dá)到所需的清潔度。

    2.層流式:

層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻的直線形,空氣從覆蓋率100%的過濾器進(jìn)入房間,并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),這種類型的裝配式（模塊式）潔凈室,需要使用一個高水平的環(huán)境,一般層流式無塵室等級為Class 1~100，可分為兩類:

    (1)水平層流式:水平氣流通過側(cè)壁回流空氣系統(tǒng)從水平方向吹出，粉塵被風(fēng)排出。一般來說，下游的污染較嚴(yán)重。

        優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡單，運(yùn)行時(shí)間短。

        缺點(diǎn):施工成本高于湍流型，室內(nèi)空間不易擴(kuò)張。

    (2)垂直層流式:房間頂棚完全位于ULPA過濾器罩內(nèi)?？諝饪梢酝ㄟ^吹掃進(jìn)行清潔，可以獲得更高的潔凈度，制造過程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝?，不會影響其他工作區(qū)域。

        優(yōu)點(diǎn):易于管理。運(yùn)行后能在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。不容易受到操作狀態(tài)或操作人員的影響。

        缺點(diǎn):施工成本高，彈性運(yùn)用空間肖，吊頂空間大，過濾器維修更換麻煩。

    3.混合類型:

        復(fù)合型即合理同時(shí)使用亂流型和層流型?？商峁┚植砍瑑艨諝?/span>

    （1）潔凈隧道：用HEPA或ULPA過濾器使覆蓋工藝區(qū)或工作區(qū)達(dá)到100%，使?jié)崈羲淼赖那鍧嵍忍岣叩?0級以上，節(jié)約安裝和運(yùn)行成本。

        這種類型需要將操作者的工作區(qū)域與產(chǎn)品和機(jī)器的維修分開，以避免機(jī)器維修對工作和質(zhì)量的影響。大多數(shù)ULSI工藝采用這種類型。

        潔凈隧道有兩個優(yōu)點(diǎn)：

            a.易彈性膨脹；

            b.設(shè)備維護(hù)容易在維修區(qū)域內(nèi)進(jìn)行。

    （2）清潔管：通過生產(chǎn)過程包裝和凈化自動生產(chǎn)線，提高清潔度100以上。由于產(chǎn)品與操作員之間的分離和粉塵環(huán)境，少量的空氣供應(yīng)可以得到良好的清潔、節(jié)能，沒有手動的自動化生產(chǎn)線是最適合使用的。適用于制藥、食品和半導(dǎo)體行業(yè)。

    （3）安裝和安裝局部潔凈點(diǎn)：將裝配式（模塊式）潔凈室產(chǎn)品制造工藝區(qū)的潔凈度從裝配式（模塊式）潔凈室的10000級至100000級提高到10～1000級以上，生產(chǎn)清潔工作臺、潔凈工作棚、潔凈空氣柜等。屬于這一類。

        潔凈臺：1~100級。

        潔凈工作棚：為在裝配式（模塊式）潔凈室空間無序流動的情況下，將靜電透明的塑料圓片導(dǎo)入一個小空間，獨(dú)立的HEPA和ULPA或空調(diào)送風(fēng)單元和更高級別的裝配式（模塊式）潔凈室，水平10～1000，高度2.5米，在COV下。占地面積約10平方米，有四根柱子和車輪配備活動，可用于彈性。