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        無塵車間懸浮粒子濃度,如果使用高性能空氣供給系統(tǒng)可以實現(xiàn)零水平，然而實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器和機械塵埃及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的塵埃粒子，因此導(dǎo)致了元件清潔面粒子的污染。

        如何控制無塵車間微粒子濃度?

    1. 不攜入人、機、料進無塵車間，不攜入微粒子       

     （1）進入無塵車間者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等，再通過風(fēng)淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完畢才能進入無塵車間。

     （2）機器、材料進無塵車間前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵車間前室保養(yǎng)后用水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風(fēng)淋傳遞窗吹淋后才能進入無塵車間。

     （3）無塵車間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有過濾器的排氣用小型風(fēng)扇于腰間。  

    2. 無塵車間內(nèi)動態(tài)環(huán)境下機、料的控制

        在控制最大污染源--人在無塵車間內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對策： 

    （1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作；

    （2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

    （3）采用發(fā)塵小的潤滑油；

    3. 不儲備：

        現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及機臺的制動（動態(tài)），無塵車間要想達(dá)到動態(tài)潔凈級別，因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵車間內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。 

    4. 除去

        在無法避免大量微粒子產(chǎn)生的機器上，為了避免在無塵車間中產(chǎn)生微粒子，直接的外部排氣作用稱為局部排氣。廢氣排放的對策是:需要進口等量的外部氣體，但同時也需要大量的能源消耗。所以這不是一個絕對理想的策略。因此，盡可能在壓縮空氣量中，不僅要對無塵車間外的廢氣進行排塵，還要采取空氣退塵后對無塵車間的應(yīng)對措施。