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        潔凈室的清潔度經(jīng)常受到空氣流動的影響，換句話說，來自人、機(jī)房和建筑結(jié)構(gòu)的灰塵的移動和擴(kuò)散是由空氣流動控制的。

        無塵室采用HEPA和ULPA對空氣進(jìn)行過濾，粉塵收集率達(dá)到99.97~ 99.9999999999995%，通過該過濾器過濾的空氣可以說是非常干凈的。但是室內(nèi)清潔除了人以外，還有發(fā)塵源等機(jī)器，因此，有必要利用氣流將塵?？焖倥懦鍪彝狻?/span>

        潔凈室內(nèi)的氣流式控制潔凈室性能的一個重要因素，一般潔凈室氣流速度在0.25 ~ 0.5米/秒之間，該地區(qū)的空氣速度屬于微風(fēng),易受人、機(jī)器等的動作而干擾變得混亂，雖然提高風(fēng)速可以抑制干擾的影響和保持清潔，但由于風(fēng)速的增加會影響運營成本的增加,所以應(yīng)該滿足的清潔水平的要求，提供最合適的風(fēng)速，達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)力供應(yīng)，以達(dá)到經(jīng)濟(jì)效益。

        另一方面要實現(xiàn)潔凈室清潔的穩(wěn)定效果，勻一氣流的保持也是一個重要因素，如果不能維持統(tǒng)一的空氣，風(fēng)速不同，尤其是在壁面，氣流沿墻會發(fā)生渦流效應(yīng)，很難實現(xiàn)高清潔度。

        垂直層流方向要保持氣流均勻，必須:

        (a)吹出面的風(fēng)速速度相同;

        (b)底板吸力面風(fēng)速速度相同。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流現(xiàn)象發(fā)生，而在0.5m/s的速度下，氣流更加均勻。目前一般的無塵室，風(fēng)速在0.25m ~ 0.5m/s之間。

        影響潔凈室氣流的因素有很多，如工藝設(shè)備、人員、潔凈室裝配材料、照明設(shè)備等，同時對于分離點以上的空氣生產(chǎn)設(shè)備也要考慮。

        一般的工作站或生產(chǎn)設(shè)備表面上的氣流分流點，應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3處，這樣可以使工人工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走，如果分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，?dāng)大部分空氣流向過制程區(qū)時，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因此會受到污染，降低產(chǎn)量。

        潔凈室內(nèi)障礙物如工作臺等，在氣流交界的地方會出現(xiàn)渦流現(xiàn)象，附近的地方潔凈度會降低，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，會使渦流現(xiàn)象減小到最小;正確選擇裝配材料和完善的設(shè)備布局也是避免渦流現(xiàn)象的重要因素。